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CI8化合物半導體SiC、GaN晶圓檢查裝置
EVG7300多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)
TS-150高精度主動減振平臺
KOSAKA - ET200A臺階儀
FSM 128薄膜應力及基底翹曲測試設備
EVG805-薄晶圓解鍵合系統(tǒng)
EVG805解鍵合晶圓鍵合機
PhaseCam 4030動態(tài)激光干涉儀
PhaseCam 6010Twyman-Green高性能動態(tài)干涉儀
FSM413紅外激光測厚儀
Microsense 5810/6810電容式位移傳感器
FR-Mic全自動帶顯微鏡多點測量
FSM 500TC高溫薄膜應力及基底翹曲測試設備
DVIA-TDaeil 臺式主動防振臺
FR-Mic全自動帶顯微鏡多點測量膜厚儀
EVG810 LT 低溫等離子活化系統(tǒng)
等離子去膠
OptoScan 600光學粗糙度測試儀