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精密激光微加工
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用于半導體芯片上連接線切割的高精度激光修整$nmicroVEGA FC 系統可針對半導體行業中的不同應用執行高吞吐量的激光微加工。該系統將高精度工藝與高動態性能相結合。因此,其可能的應用包括:$n數字邏輯電路的編程,$n數字電位器的修整,$n芯片上半導體存儲器的修復,$n失效微LED的移除。
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