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岱美儀器拿到客戶1臺膜厚測量儀FR-Scanner訂單

發表時間:2026/9/17 14:40:26

此客戶位于安徽省的高新技術產業開發區集成電路產業集群內,先后獲得“國家高新技術企業”、“國家鼓勵的重點集成電路設計企業”、“安徽省高層次人才團A類”、“2021年中國隱形獨角獸500強”、“安徽省專精特新中小企業”、“合肥市企業技術中心”、“合肥高新區瞪羚企業”等稱號。



圖片


FR-Scanner-AIO-Mic 模塊化厚度測繪系統平臺,集成了光學、電子和機械模塊,用于表征圖案化薄膜光學參數。典型案例包括(但不限于)微圖案表面、粗糙表面等。


晶圓放置在真空吸盤上,該真空吸盤支持尺寸/直徑達 300 毫米的各種晶圓,執行測量光斑尺寸小至幾微米的光學模塊。FR-Scanner-AIO-Mic 具超高精度和可重復性的電動RΘ 載物臺,在速度、精度和可重復性方面具有高性能。