
此客戶位于深圳,為國家重點實驗室,客戶以重大基礎設施為支撐,以重大攻關項目為核心,探索出“重點項目+基礎研究”雙輪驅動的特色科研模式;積極推進合作共建與資源共享,構建產學研用金協同創新體系,與全國150余家高校、科研機構開展深度合作;與北京大學、清華大學等高校執行聯合培養博士生的國家專項計劃,開創了兼具各校特色的博士生培養新路徑和“書院制”育人新模式。客戶采購Lazin LODAS BI8主要用于用于檢測 8 英寸晶圓表面的顆粒以及缺陷 (包括表面的創傷,洞坑缺陷,內部氣泡以及沖洗痕跡,水跡缺陷等), 顆粒感度大于等于 100nm,缺陷查出后,可輸出缺陷的分布圖及相關的統計數據,可用高倍顯像鏡進行針對性觀察。

本設備的檢查對象是光罩用石英基板、勻膠鉻版、以及各種晶圓表面缺陥。
本設備以波長 405nm、250mW 輸出的激光為電源,使用多面反射鏡在 Y 方向掃描光束,通過移動平臺在 X 方向掃描,來進行光掩模板或空白面的全面檢查。異物檢測是通過光電倍增管捕獲散射光和光電二極管捕獲共焦光來執行的,并且可以根據信號強度預測其大小。檢查結果可以用附帶的顯微鏡查看,長度測量工具可以測量缺陷的大小。檢查結果,在檢測圖顯示的同時坐標等各種信息以特殊格式保存,并且包含檢查后重新調整檢測靈敏度、重新顯示地圖等功能。作為可選功能,還有缺陷附近的標記功能。