
此客戶位于深圳,是中央批準成立的突破型、平臺型一體化的網絡通信領域新型科研機構。作為國家戰略科技力量的重要組成部分,實驗室聚焦寬帶通信、新型網絡、網絡智能等國家重大戰略任務以及粵港澳大灣區、中國特色社會主義先行示范區建設的長遠目標與重大需求,按照“四個面向”的要求,開展領域內戰略性、前瞻性、基礎性重大科學問題和關鍵核心技術研究。客戶采購XY200機型主要用于帶圖案樣品的自動測量,XY位移平臺的精度達到+/-2um

FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200 模塊化厚度測繪系統平臺,集成了光學、電子和機械模塊,用于表征圖案化薄膜光學參數。典型案例包括(但不限于)微圖案表面、粗糙表面等。
晶圓放置在真空吸盤上,該真空吸盤支持尺寸/直徑達 200 毫米的各種晶圓,執行測量光斑尺寸小至幾微米的光學模塊。電動平臺提供XY方向200 毫米的行程,在速度、精度和可重復性方面具有高性能